采用最先進的半導(dǎo)體技術(shù),有23種線和空間組成實現(xiàn)了10 μm到0.1 μm的納米量級。最先進的x射線成像具有納米焦點和微焦點分辨率的系統(tǒng)需要MicroChart來維護和控制檢查它的能力和日常校準。
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